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工具測量顯微鏡作為精密計量領域的核心設備，通過光學放大與坐標測量技術的融合，實現了對微米級尺寸的精準解析。其結構設計以光學系統為核心，輔以精密機械與數字化模塊，形成多維度測量體系。以下從核心組件、輔助系統及功能擴展三個層面解析其結構特征。一、光學成像系統：微米級觀察的基石1.多倍...

2025 5-9

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202312-13
MS測量顯微鏡在IC芯片引腳缺陷檢測應用
在芯片制造過程中，芯片引腳扮演著連接內部電路與外部電路的重要角色，相當于芯片的接口。然而在芯片制造過程中，如果引腳出現缺失、破損、偏斜或不平整，容易導致后續貼片焊接時出現虛焊、虛接或漏接的問題，進而影響芯片的可靠性。芯片引腳缺陷檢測通常涉及測量和評估多個指標，如檢測引腳外觀、測量引腳寬度、高度差等，通過綜合評估這些參數，能夠及時發現潛在的問題并提供預警，以確保芯片制造的質量和可靠性。如何在芯片快速傳輸的過程中，高效準確地對引腳缺陷進行非接觸式測量分析，是芯片廠商亟待解決的問題...
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